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等離子體增強(qiáng)MOCVD

等離子體增強(qiáng)MOCVD:針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制,*的安全

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-11-13
  • 訪  問  量:2509
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產(chǎn)品詳情

等離子體增強(qiáng)MOCVD

等離子體增強(qiáng)MOCVD概述:

    MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積), 針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動(dòng)控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空),*的安全互鎖。

    目前,NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

等離子體增強(qiáng)MOCVD型號(hào):

  • 臺(tái)式系統(tǒng)
  • 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器
  • 加熱的氣體管路
  • 950 °C樣品臺(tái),2"晶圓片
  • 3個(gè)氣體環(huán)
  • RF等離子源,帶淋浴頭氣體分布
  • 工藝完成后N2自動(dòng)沖洗
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
  • 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 菜單驅(qū)動(dòng),4級密碼訪問控制
  • 完整的安全聯(lián)鎖

配置:

  • 獨(dú)立系統(tǒng)
  • 14"不銹鋼立方體腔體
  • 1次在8"樣品臺(tái)上處理1個(gè)6"晶圓片或在12"樣品臺(tái)上處理5片4"片子
  • 加熱的氣體管路
  • RF等離子源,自動(dòng)調(diào)諧
  • 淋浴頭氣體分布
  • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
  • N2沖洗
  • 手動(dòng)或自動(dòng)的晶圓片上下載
  • 可以兼容到集群配置中

應(yīng)用:

  • 35族半導(dǎo)體層
  • 藍(lán)色發(fā)光二極管
  • 激光二極管
  • 紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒
  • 3D2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯
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