RIE刻蝕機(jī)，又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講，等離子清洗實(shí)質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。
RIE刻蝕機(jī)的原理與激光打標(biāo)機(jī)相同，即通過高能量的激光光束照射到材料表面使其瞬間氣化形成圖案、文字等。而與打標(biāo)機(jī)相比要求的精度更高，對材料表面的加工精度要求也更高，通常激光刻蝕機(jī)用在觸摸屏行業(yè)內(nèi)的ITO刻蝕，銀漿刻蝕等。
在早些年前RIE刻蝕機(jī)在行業(yè)內(nèi)幾乎都統(tǒng)稱為觸摸屏激光刻蝕機(jī)，在觸摸屏行業(yè)內(nèi)得到了廣泛應(yīng)用，手機(jī)電阻屏、電容屏的發(fā)展也讓激光刻蝕機(jī)廠家發(fā)展發(fā)生了質(zhì)的變化，主要體現(xiàn)為ITO玻璃激光刻蝕、銀漿玻璃激光刻蝕等，也有一部分是ITO薄膜與銀漿薄膜刻蝕。
而隨著手機(jī)行業(yè)的發(fā)展，OLED的崛起，觸摸屏行業(yè)的激光刻蝕設(shè)備逐漸呈現(xiàn)飽和趨勢，RIE刻蝕機(jī)廠家也隨之加大對材料應(yīng)用的研發(fā)投入和應(yīng)用方向的投入，太陽能、光伏行業(yè)將會成為激光刻蝕機(jī)下一個重要發(fā)展領(lǐng)域。
太陽能光伏行業(yè)的一些采用應(yīng)用包括金屬合金薄膜材料，如鋁薄膜，銅薄膜，鎘薄膜，合金薄膜等。也有一些玻璃鍍層和特殊材料鍍層的應(yīng)用，如碳納米玻璃材料應(yīng)用，下面是一些光伏行業(yè)玻璃/薄膜激光刻蝕樣品介紹。
產(chǎn)品分類
更新時間：2019-04-16 
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