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微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng): NM的微波PECVD能夠沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達12" 的基片.淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源,樣品臺通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。可支持加熱和冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵,真空可低至10-7 torr。標準配置含1路惰性氣體、3路活性氣體和4個MFC。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:1857
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產(chǎn)品詳情

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)概述:NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜,至大可達6" 直徑的基片上,該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子,具有分形氣流分布的優(yōu)勢,樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵,腔體可以達到低至10-7 torr的真空。

  • 標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC;

  • 帶有氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求,無論是等離子強度、均勻度,還是要分別激活某些活性組份;

  • 系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)應用:

  1. 等離子誘導表面改性:就是通常所說的用等離子實現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等);

  2. 等離子清洗:去除有機污染物;

  3. 等離子聚合:對材料表面產(chǎn)生聚合反應;

  4. 沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石),以及其它薄膜;

  5. CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長:在需要的位置生長CNT或石墨烯。

特點:

  • 立式系統(tǒng)

  • 自動上下載片,帶預真空鎖

  • 不銹鋼或鋁制腔體

  • 極限真空可達10-7Torr

  • RF淋浴頭,HCD或微波等離子源

  • 高達6"(150mm)直徑的樣品臺

  • RF射頻偏壓樣品臺

  • 水冷樣品臺

  • 可加熱到的800 °C樣品臺

  • 加熱的氣體管路

  • 加熱的液體傳送單元

  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組

  • z大可支持到8MFC

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護

  • 完整的安全聯(lián)鎖


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