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熱真空系統(tǒng)應(yīng)用狀況分析討論

更新時(shí)間:2019-12-09      瀏覽次數(shù):1552
     試驗(yàn)真空環(huán)境模擬為了考核和研究某些活動(dòng)部件、伸展機(jī)構(gòu)的干摩擦、冷焊性能和研究材料在真空條件下的升華、重量損失、老化等效應(yīng),需要在更高的真空度和其他空間環(huán)境因素的組合下進(jìn)行試驗(yàn)。大家都知道現(xiàn)在真空系統(tǒng)在各個(gè)行業(yè)的應(yīng)用越來越廣泛,下面我們?yōu)榇蠹医榻B一下現(xiàn)在常用的熱真空系統(tǒng)在熱真空試驗(yàn)設(shè)備中的應(yīng)用吧。
 
    熱真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過程,是集成電路設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一;它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。
 
    真空系統(tǒng)在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用
 
    熱真空系統(tǒng)是指在真空和一定的溫度條件下驗(yàn)證航天器及其組件各種性能與功能的試驗(yàn),由冷浸、熱浸與變溫過程組成。其環(huán)境條件為真空度優(yōu)于6.5×10-3Pa;具有冷黑背景,半球法向發(fā)射率大于0.90。在模擬試驗(yàn)時(shí),試件多處于工作狀態(tài)并測(cè)量其工作參數(shù)和環(huán)境參數(shù)。冷浸是使航天器及其組件處于規(guī)定的試驗(yàn)低溫度,并停留規(guī)定的時(shí)間;熱浸是使其處于規(guī)定的試驗(yàn)高溫度,并停留規(guī)定的時(shí)間。從室溫開始降至規(guī)定的試驗(yàn)低溫度,實(shí)行冷浸再上升至規(guī)定的試驗(yàn)高溫度,實(shí)習(xí)熱浸,后回到室溫,成為一個(gè)溫度循環(huán)。
 
    熱真空系統(tǒng)又稱空間環(huán)境模擬設(shè)備或空間模擬器,它是模擬衛(wèi)星及其組件在軌道運(yùn)行中的高真空條件下,對(duì)衛(wèi)星組件進(jìn)行考驗(yàn),這就是通常說的組件熱真空試驗(yàn)。熱真空試驗(yàn)箱主要由真空容器、熱沉與輻射屏、試驗(yàn)平臺(tái)、制冷、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測(cè)量與控制系統(tǒng)及安全保護(hù)系統(tǒng)組成。
 
    在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用的使用說明
 
    真空系統(tǒng)在投入生產(chǎn)使用前,必須仔細(xì)檢查各部位緊固件是否有松動(dòng)現(xiàn)象,若有松動(dòng)必須校正擰緊。開車前水箱必須加滿水,打開泵進(jìn)口閥,再運(yùn)行耐腐泵,嚴(yán)禁泵脫水空轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn),以防止損壞機(jī)封、葉輪及泵體其它部件。真空系統(tǒng)停車前先打開放空閥或等真空度降至0.092MPa以下,再停車。以防真空度過高形成倒吸損壞止回閥。(如止回閥失靈,請(qǐng)打開止回閥蓋,清除雜物)。
 
    在使用汽水串聯(lián)噴射真空系統(tǒng)時(shí),先開車再打開蒸汽閥,停車時(shí)先關(guān)掉蒸汽閥再停車,以防止溫度過高而損壞水噴射真空泵。熱真空系統(tǒng)在安裝蒸汽管路時(shí),管路一定要保持水平,防止管內(nèi)有積水,否則將影響真空效果。水箱內(nèi)的循環(huán)水應(yīng)經(jīng)常更換或補(bǔ)充,盡量保持較底的水溫,因?yàn)樗疁剡^高會(huì)影響排氣量和真空度。
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