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光學鍍膜系統(tǒng)

光學鍍膜系統(tǒng):NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統(tǒng)提供*進的技術,在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-11-13
  • 訪  問  量:1806
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聯(lián)系電話:021-62318025

產品詳情

光學鍍膜系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統(tǒng)提供*進的技術,在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。

 

光學鍍膜系統(tǒng)應用

  • 光學涂層
  • 濺射
  • 離子束輔助沉積
  • 離子束刻蝕清洗
  • 離子束輔助反應刻蝕
  • 紅外涂層
  • 表面處理

 

光學鍍膜系統(tǒng)產品特點:

  • 射頻偏壓樣品臺
  • 膜厚監(jiān)測儀
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 高精度及高重復性
  • 高品質膜層
  • 原子級的潔凈表面
  • 原子級清洗和拋光
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
  • 自動上下載片
  • 兩個腔體之間自動傳送
  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護
  • 完整的安全聯(lián)鎖
  • 占地面積46”D x 44”W

 

光學鍍膜系統(tǒng)選配項:

  • 向下/向上濺射
  • 共濺射
  • DC,RF以及脈沖電源
  • 離子束輔助沉積
  • 電子束源
  • 等離子源

 

 

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