NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)：NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，樣品臺(tái)位于主腔體，二級(jí)腔體則用于安置電子束源。兩個(gè)腔體之間的門閥可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實(shí)現(xiàn)基片通過(guò)主腔體放入基片到樣平臺(tái)（或夾具）上或從中取出。自動(dòng)裝/卸載基片可通過(guò)第三方的預(yù)真空鎖實(shí)現(xiàn)。通過(guò)PC計(jì)算機(jī)控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。

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更新時(shí)間：2023-11-13
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電子束蒸發(fā)技術(shù)

NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi)，二級(jí)腔體則用于安置電子束源。這種在兩個(gè)腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實(shí)現(xiàn)基片通過(guò)主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基片時(shí)，他可以通過(guò)第三方的預(yù)真空鎖來(lái)實(shí)現(xiàn)，這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過(guò)PC計(jì)算機(jī)控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。

NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點(diǎn)：